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宇環(huán)數控回復深交所關(guān)注函,碳化硅加工過(guò)程要經(jīng)過(guò)多道工序,我公司正在研發(fā)的設備僅可應用于碳化硅加工的部分磨拋工序,且公司相關(guān)設備尚處于研發(fā)階段,還需要進(jìn)行改造調試,公司產(chǎn)品尚泰科天潤總部坐落于北京,在北京和湖南分別擁有4英寸和6英寸碳化硅半導體工藝晶圓生產(chǎn)線(xiàn)。據泰科天潤近日發(fā)布消息,目前生產(chǎn)線(xiàn)已通線(xiàn),進(jìn)入試生產(chǎn)階段,工藝設備調通,投片40工程批次以產(chǎn)品概述:碳化硅干燥生產(chǎn)線(xiàn)是我公司為克服靜態(tài)干燥低效、高耗而研制開(kāi)發(fā)的新型流態(tài)化干燥設備。該機在設計過(guò)程中充分結合氣流干燥等流態(tài)干燥的特點(diǎn),揚長(cháng)避短,使整機具有合理。

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