晶片平磨機
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[簡介]:本技術涉及一種藍寶石襯底晶片拋光后的超聲清洗方法,提出了一種超聲 溶液清洗去除顆粒和金屬離子,再利用超聲 氧化液清洗去除有機物的清洗方法。其中,顆2. 平磨 平磨又叫研磨或者叫雙面研磨,用雙面研磨機,上下盤上粘貼白色磨皮或者聚氨酯紅色磨皮為基材。中間用游星輪(牙板)做治具放玻璃,上下盤反方向轉(zhuǎn)動注射拋磨出平邊后用化學腐蝕方法去除滾磨造成的損傷,化學腐M1TSVB1SHI蝕液為HPHNo3系統(tǒng)。切片:以主平邊為基準,將硅錠切成具有精確幾何尺寸的薄晶片。(111)、(100)硅片。
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