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設(shè)備展示,中國科學(xué)院微電子研究所,中國科學(xué)院 設(shè)備展示 柵氧/多晶/退火臥式爐管/LPCVD低應(yīng)力氮化硅設(shè)備 稿件來源:ICAC 責(zé)任編輯:ICAC 發(fā)布時間:答案: 一般用線切割或者數(shù)控機床。 氮化硅陶瓷,是一種燒結(jié)時不收縮的無機材料陶瓷。氮化硅的強度很高,尤其是熱壓氮化硅,是世界上堅硬的物質(zhì)之一。具有高強度更多關(guān)于氮化硅的生產(chǎn)設(shè)備的問題

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