氮化硅生產(chǎn)設(shè)備

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氮化硅薄膜制備設(shè)備采用德國Centrotherm公司生產(chǎn)的管式低頻PECVD設(shè)備,利用SE400advPV型橢偏儀測試薄膜的厚度和折射率,利用WT2000 設(shè)備掃描測試少子壽命,并

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